激光數(shù)控沖床的維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術，需要激光數(shù)控沖床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的激光數(shù)控沖床的維修經驗。因此，在日常數(shù)控機床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設備完好率，是激光數(shù)控沖床維修人員的首要任務。當出現(xiàn)沖床精度異常、零件表面質量變差等問題時，就需要借助一些先進的精度檢測儀器。激光干涉儀作為激光數(shù)控沖床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等。其線性測長精度可達到 ±0.5ppm(0~40℃ )，線性測量最長可以達到 80m，最高線性測長分辨率 0.001μm，最高測量速度 240m/min。對于不同的激光數(shù)控沖床，檢測的曲線各不相同，其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析，能夠將影響機床精度的原因列出來，數(shù)控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數(shù)據(jù)，了解到機床在哪些方面存在誤差，這樣就為調整和數(shù)控機床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導，大大縮短數(shù)控機床維修時間，提高數(shù)控機床維修的效率。

激光干涉儀組件要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)，需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件，主要有：XL 激光頭、三腳架和云臺、XC 環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。